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    工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器。

    真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。工業超純水設備的應用領域：半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

    超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；實驗室和中試車間用超純水；汽車、家電表面拋光處理；光電子產品；其他高科技精微產品；標準法規；工業超純水設備初是美國科技界為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水。

    工業超純水設備工藝流程：采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水；沙炭過濾器精密過濾器陽床陰床混床（復床）純水箱純水泵后置精密過濾器用水點。采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式。

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